电子工业纯水主要作用是在电子元器件生产中，用作半导体晶片、芯片半成品和成品的清洗，以及配制各种溶液、浆料。纯水水质是影响电子元器件产品质量、生产成品率及生产成本的重要因素之一。不同的电子产品以及不同的生产环节，对纯水的水质和纯度的要求也不尽相同。电子工业纯水通常包括：电子工业纯水、电子工业超纯水、电子工业高纯水等。

电子工业纯水广泛应用于半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路等。